如何選擇高純氣體管道及其附件的材料？
發(fā)布日期：2024-05-16 關(guān)注次數(shù)：464
高純度氣體的輸送是否能將高純氣體送至用氣點(diǎn)，并保持其質(zhì)量合格，關(guān)鍵在于供氣系統(tǒng)規(guī)劃合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確以及實(shí)驗(yàn)檢測(cè)合格。在選擇高純氣體管道時(shí)，需要根據(jù)工藝過(guò)程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等要求的不同，選用相應(yīng)質(zhì)量的管材。
以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例，由于其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純氣體有特定且嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g/m)技術(shù)，對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格。目前，10(ppm級(jí))的雜質(zhì)含量已經(jīng)不能滿足要求，需要達(dá)到10(ppb級(jí)),甚至10-2(ppt級(jí))。此外，塵埃粒徑要求控制在0.05-0.1μm以內(nèi)。因此，選擇管道自身的管道材料特性以適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必要條件。
以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例，由于其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純氣體有特定且嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g/m)技術(shù)，對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格。目前，10(ppm級(jí))的雜質(zhì)含量已經(jīng)不能滿足要求，需要達(dá)到10(ppb級(jí)),甚至10-2(ppt級(jí))。此外，塵埃粒徑要求控制在0.05-0.1μm以內(nèi)。因此，選擇管道自身的管道材料特性以適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必要條件。
